石墨在 600℃以上有氧环境下会逐步氧化损耗，抗氧化涂层是延长石墨件寿命最常用手段，市面上主流分为硼系涂层、碳化硅涂层、玻璃釉涂层三类，适用温度、介质、成本差距明显。

硼系抗氧化涂层：冶金熔炼耗材主流硼系涂层渗透进石墨表层孔隙，形成钝化层，适合铝熔炼石墨转子、坩埚，使用温度一般不超过 1000℃。优点是附着力好、不易崩裂、返修重涂方便，单价低；缺点不耐强酸等离子环境，PECVD 镀膜场景不推荐。

碳化硅 SiC 涂层：半导体高温真空首选CVD 碳化硅涂层致密、耐等离子冲刷、耐温上限高，是石墨舟、半导体高温工装的主流方案。孔隙封闭效果最好，能阻挡助焊剂、等离子侵蚀，使用寿命提升幅度大。成本偏高，涂层一旦磕碰破损，修复难度大。

玻璃釉涂层：中温常压防腐玻璃釉涂层在 800℃以内稳定，多用于热处理工装，表面形成玻璃保护膜。冷热频繁交替时容易开裂剥落，现在高端工业场景用得越来越少。

涂层不是越厚越好，均匀性、孔隙封闭率才是核心。采购时确认是浸渍涂层还是 CVD 气相沉积，同时确认是否支持返工复涂，方便后期维护，控制耗材综合成本。