关于PECVD石墨舟工序标准物质的使用?

　　关于标准物质，大家都知道在计量时是做标准件使用的，石墨舟本文中讲到的标准物质将这一标准物质进行了详细化。

　　例如在PECVD工序主要操作是使用机器手进行工作，因此所提及的标准物质为标准机械手、标准石墨舟及标准上料小车三部分。

　　众所周知，机械手会有相应的准确度，在使用一段时间后，会由于使用的原因会造成一定的偏差，因此会造成在上料过程中夹石墨舟会倾斜，造成摔片现象。因此需要对机械手进行定期的校正，但是由于技术方面的问题，我们不能总是去调整机械手，所以我们将问题转向方便调整的石墨舟及上料小车上。

　　石墨舟在使用的过程中，不会造成什么大的问题，主要是其载体的问题，那就是上料小车。

　　上料小车在使用一段时间后会与机械手形成匹配不良，导致在上料的过程中出现各种问题，导致整体的上料质量指标波动。

　　首先，上料小车在使用时会由于使用的原因会造成小车的不平稳，导致小车上石墨舟的位置偏移；再次，由于操作小车的人员不同，因此也会对机械手有不同的影响。

　　由于是一台机械手对应多台上料小车，因此我们采取对小车进行规范的方法。

　　一、我们制定标准小车（注：此小车并不是理想状态下各方面参数均为最规范的小车，而是任一小车，主要是调整机械手与其对应关系）。并将石磨舟放置在小车上的位置及方向进行定位，我们将其定义为标准，并以此来调整机械手，保证机械手在此小车和石墨舟的位置为最佳上料位置。

　　二、将小车的高度及地面的存放位置进行规定，采用8S标准定位方法，避免由于小车的高度位置等低级问题导致的上料时的摔片现象。

　　三、以此小车为标准，调整其他对应该机械手的小车，保证其标准小车的标准作用的发挥。

　　四、对机械手进行定期调试，保证机械手与小车的匹配性。

　　五、对所有小车进行定期保养维护，保证小车的标准一致性。

　　通过上述我们措施的实施，有效的减少了上料过程中的摔片现象及对石磨舟的影响。

　　通过此案例，我们还在其他工序对标准物质进行了制定，如在PE工序对不同颜色的片子进行分类，在印刷前就对问题片进行分类，可以降低生产成本，及在印刷过程中造成的资料浪费。并在印刷工序增加标准色板的电池片，保证分色时能实现目视化，减少了色差问题出现在概率。